中科芯微半導體機器人研發生產基地項目，4月30日在沈陽中德園啟動建設，將打造國內領先的集研發、生產、銷售為一體的半導體機器人研發生產基地，致力于半導體專業設備領域的國產替代研發，填補國產替代市場的空白。
中科芯微半導體機器人研發生產基地項目正式啟動
據了解，上述項目的投資方中科芯微智能裝備(沈陽)有限公司，是位于沈陽中德園的一家高新技術企業，主要專注于半導體制造核心裝備的自主研發與產業化，構建了覆蓋芯片制造前道工藝全制程的設備體系，年均推出5-10項創新產品，累計完成十余項重大科技攻關項目，成功開發出20余種高精度半導體潔凈機器人系列產品。突破了相關技術壁壘，在精密傳動系統、真空環境兼容性、納米級定位精度等關鍵技術領域取得重大進展。
項目開工現場
該項目計劃總投資5億元，占地面積6.9萬平方米，規劃建筑面積約8.3萬平方米。建設數字化智能制造生產廠房、半導體核心設備實驗室、研發綜合樓等，購置自動化產品生產設備、試驗設備、標準檢測設備。項目竣工投產后可實現年產半導體機器人1000臺套，預計新增產值10億元，稅收5000萬元，新增就業500余人。
壯觀的項目墻
項目所在的沈陽市鐵西區相關負責人告訴記者，該區將立足自身產業基礎和發展定位，全力構建“四突破兩升級”的鐵西新材料及集成電路產業體系，通過提質升級先進金屬、化工、無機非金屬材料產業鏈條；培育壯大超高純凈石英半導體材料產業規模，全力支持中科芯微申報潛在獨角獸企業；改造提升石油化工材料、冶金建筑材料產業水平；推動傳統制造業轉型升級、新興產業發展壯大，為區域經濟發展蓄勢賦能。以“強攻二季度，勇奪雙過半”的拼搏精神，全面加快項目建設步伐，堅決打好打贏三年行動決勝之年決勝之戰，展現新時代新鐵西的更大擔當作為。
（中國新聞網記者 趙桂華 鐵西區委宣傳部供圖）
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